ВАТТ1600-4ДК

Установка ВАТТ1600-4ДК предназначена для нанесения комбинированного покрытия, которое может состоящего из слоя металла, слоя соединения этого металла (оксид, нитрид, карбид) и слоя SiOx.

Для осаждения слоев металлов и их соединений используется планарный дуговой распылитель. Блок питания дугового испарителя инверторный с ключом двунаправленного движения катодного пятна. Возвратно-поступательное движение катодных пятен вдоль катода осуществляется за счет датчиков крайних положений катодных пятен, что исключает "зависание" катодного пятна по концам катода.

Система напуска газа четырехканальная, выполнена на основе регуляторов РРГ -12.

Нанесение кремнийорганического слоя SiOx производится в ВЧ разряде - 20-40 кГц, 400-1000В, который зажигается между барабаном с изделиями и антенной, расположенной в центре камеры. Блок питания ВЧ разряда инверторный.

Вся вакуумная арматура и исполнительные механизмы на основе пневмосистем "Camozzi".

Для прокладки силовых и измерительных кабелей использована система кабель-каналов, размещенных над установкой, в соответствии с европейскими требованиями.

Для измерения давления используются датчики фирмы Pfeiffer.

Система управления и силовая часть установки размещены в отдельных стойках.

В стойке управления размещаются контроллер, компьютер с монитором, устройства измерения рабочих параметров и пульт управления.

На мониторе показывается схема установки с визуализацией состояния элементов и текущие параметры технологического процесса, а также показываются режим работы и текущие установки рабочего процесса.

Установка может работать в автоматическом и ручном режиме.

После загрузки камеры оператор нажимает кнопку "Пуск" на панели управления и нажимает кнопку "Открыть камеру" по завершении технологического цикла - появлении надписи на мониторе "Цикл завершен".

Программа управления осуществляет запись параметров технологического процесса, что обеспечивает возможность дальнейшего контроля и анализа


Состав установки:

    * Цилиндрическая камера Ду1600
    * Вакуумная система на основе насосов НВДМ 400, для форвакуумной откачки рекомендуется агрегат ЕН1200 + Е1М275, Edwards.
    * Стойка управления.
    * Силовая стойка.
    * Блок питания Sirion 400.
    * Два барабана на откатных тележках.

Технические характеристики:

    * Предельное остаточное давление Па (мм.рт.ст), не более 6,6х10-3 (5х10-5)
    * Время откачки до давления 1х10-4 мм.рт.ст, мин., не более 20
    * Объем вакуумной камеры, м3 6
    * Производительность установки, расчетная, м2/цикл 13,6
    * Установленная мощность, кВт 40
    * Вес установки, не более, кг 2500
    * Расход охлаждающей воды, м3/ч 1,2
    * Габариты, длина, ширина, высота, м 6х5,85х2,5