Установка ВАТТ 1600-ЭД-В
Установка вакуумная напылительная ВАТТ 1600-ЭД-В предназначена для нанесения покрытий на основе титана и соединений титана электродуговым методом на объемные изделия из стекла и керамики диаметром до 120 мм и высотой до 1000мм.
В установке реализован электродуговой тип распыления. Установка оснащена катодом, вертикально расположенным в центре камеры. Изделия, установленные на узлы вращения, совершают планетарное вращение вокруг катода, что обеспечивает равномерность покрытия.
Для улучшения адгезии покрытия к подложке в установке предусмотрен как предварительный прогрев изделий, так и очистка в тлеющем разряде.
Состав установки:
* Откачной пост на базе двух диффузионных насосов НВДМ-250 и АВЗ-90.
* Камера Ду 1600
* Стойка управления
* Блок питания дугового распылителя
* Система напуска газа
* Дуговой распылитель
* Нагреватели
Технические характеристики:
* Производительность установки, изделий/цикл, 32
* Предельное остаточное давление в вакуумной камере, мм.рт.ст, не более 5 10-5
* Время откачки камеры до давления 1 10-4 мм.рт.ст, мин., не более 20
* Расход охлаждающей воды при температуре, м3/час, не более 0,6
* Максимальная потребляемая мощность, кВт/ч, не более 32
* Габаритные размеры установки при открытой крышке, мм, не более, 3200х1900х2400