Установка ВАТТ-600-6М
Установка вакуумная "ВАТТ-600-6М" предназначена для нанесения комбинированного защитно-декоративного покрытия на основе титана и алюминия и их соединений.
Установка барабанного типа с планетарным вращением, на барабане размещаются 24 трубы длиной до 3 м. и диаметром до 40 мм.
В установке реализован магнетронный тип распыления. Установка оснащена шестью независимыми распылителями, расположенными в две колонны по длине установки. Такое исполнение существенно расширяет спектр получаемых покрытий, особенно в случае напыления интерметаллидов, когда происходит одновременное распыление мишеней из разных материалов. Для улучшения адгезии покрытия к подложке в установке предусмотрен как предварительный прогрев деталей, так и операция их очистки в тлеющем разряде.
Для обеспечения стабильности, бездефектности и управляемости проведения процессов нанесения сложных функциональных покрытий установка снабжена инвертером электрического смещения с ключом-генератором паузы
Состав установки нанесения покрытия на трубы:
* Откачной пост на базе четырех диффузионных насосов НВДМ-250 и насоса АВЗ-90.
* Камера Ду 700
* Стойка управления
* Блоки питания магнетронов
* Инверторный блок питания ионной очистки и смещения
* Система напуска газа
* Планарные магнетроны
* Термические нагреватели
* Два барабана на откатных тележках
Технические характеристики:
* Производительность установки для трубы длиной 3000 мм, шт/цикл, 24
* Предельное остаточное давление в вакуумной камере, мм.рт.ст, не более 5*10-4
* Время откачки камеры до давления 1*10-4 мм.рт.ст, мин., не более 30
* Расход охлаждающей воды при температуре, м3/час, не более 4
* Максимальная потребляемая мощность, кВт/ч не более 69
* Габаритные размеры установки при открытой крышке, мм, не более, 4500х1600х2000
