Установки нанесения покрытий
Казань, исторически, один из центров производства различного вакуумного технологического оборудования в России. Последнее десятилетие, лидирующее положение в разработке и производстве вакуумных установок различного назначения занимает предприятие ЗАО "ФЕРРИ ВАТТ". Разработано и изготовлено большое количество напылительных установок, предназначенных для нанесения декоративных, защитных, теплоизолирующих покрытий на стекло, металлы, пластмассу, керамику и т.д. [1,2]. Установки могут иметь как ручное управление, так автоматическое управление с применением контроллера и компьютера. Внутренняя оснастка камер может быть оптимизирована под конкретные условия производства. Разработка технологии, обучение персонала - неотъемлемое условие поставки установок. Предприятие активно сотрудничает со всеми сторонами, заинтересованными в развитии вакуумной техники и ее применении.
Установки изготавливаются для нанесения различных покрытий – декоративных, защитных, интерференционных, поглощающих солнечную энергию, теплозащитных и т.д. Возможно использование изделий из различных материалов – стекло, металлы, пластмассы.
Вакуумная система установок может состоять, как из отечественных насосов диффузионных НВДМ-400, двухроторных ДВН-150, ДВН-500 и насосов серии АВЗ, так и зарубежных, в соответствии с потребностями заказчика. Используются клапаны и затворы с пневмоприводом, собственной разработки. Пневмопривод используется и для других исполнительных устройств.
Рис.1. Вакуумная арматура с пневмоприводом
Установки имеют систему управления на основе контроллера, компьютера с монитором, устройств измерения рабочих параметров и кнопочный пульт ручного управления. В установках применяются магнетронные, дуговые системы распыления и системы термического испарения. В ряде установок применяется осаждение кремнийорганических слоев в ВЧ (13,56 мГц) и AC (20-80 кГц) разряде, для защиты покрытия от воздействия окружающей среды.
Рис.2.Системы испарения и распыления
Рис.4. Установка ВАТТ 1600х2400-ЭД. а – вид со стороны чистой зоны, б – дисплей управления
Для контроля давления используются датчики фирмы Pfeifier, в том числе, для контроля процесса реактивного осаждения применяется деформационные, емкостные датчики типа CMR. В соответствии с международными требованиями используется система кабельканалов, размещенных над установкой.
Рис.4. Установка ВАТТ 1600х2400-ЭД. а – вид со стороны чистой зоны, б – дисплей управления
Рис.2.Системы испарения и распыления